全新ULVAC愛發(fā)科  皮拉尼真空計的測定子

全新ULVAC愛發(fā)科  皮拉尼真空計的測定子

操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。

燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。

可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。

用途

用于有機EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認

用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環(huán)境中進行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

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  測定子

  AxTRAN 系列

  X-11(ICF070)

  ULVAC

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  SC1

  C-21(Φ18/15)

  ULVAC

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  測定子

  SC1

  C-23(ICF034)

  ULVAC

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  測定子

  SC1

  C-24(NW16)

  ULVAC

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  測定子

  SC1

  C-25(NW25)

  ULVAC