原廠HORIBA堀場 通用型數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列

原廠HORIBA堀場 通用型數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列

數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號，配備多范圍/多氣體功能，允許用戶更改氣體類型和流量范圍。

實現(xiàn)±1.0%SP的高精度、全量程1秒內(nèi)高速響應(yīng)、5SCCM～500SLM的寬量程。通訊方式可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通訊中選擇。該質(zhì)量流量控制器不僅適用于先進工藝，而且適用于各種制造工藝。

多量程/多氣體兼容。

氣體類型和滿量程流量可在用戶側(cè)更改。通過減少備件數(shù)量，有助于降低成本。

從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制

保證高精度

±1.0% SP（設(shè)定點）

1秒內(nèi)高速響應(yīng)

全量程（T98）

尺寸緊湊，

可選擇的通信方式

陣容：數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通訊方式    驅(qū)動電源    產(chǎn)品型號

數(shù)字通訊

?RS-485 F-Net協(xié)議

模擬通訊

?0~5VDC

±15VDC(±5%) *    SEC-N102系列

DeviceNetTM通訊    ODVA標準    SEC-N104系列

CC-Link® 通訊

模擬通訊

?0~5VDC 0~10VDC

?4~20mA

24VDC（13 ~ 32VDC）    SEC-N105系列

現(xiàn)場總線通訊

模擬通訊

?0~5VDC 0~10VDC

?4~20mA

現(xiàn)場總線標準

24VDC(13~32VDC)

SEC-N106系列

EtherCAT®通信    

EtherCAT標準

24VDC+/-4V

SEC-N107系列

可滾動的

寬廣的流量控制范圍，從 10 SCCM 到 1000 SLM 

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行。

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能，實現(xiàn)設(shè)定點精度

全流量范圍快速響應(yīng)：1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能，

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量?？蛇x擇的通信方式

陣容：數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通訊方式    驅(qū)動電源    產(chǎn)品型號

數(shù)字通訊

?RS-485 F-Net協(xié)議

模擬通訊

?0~5VDC

±15VDC(±5%) *    SEC-N102系列

DeviceNetTM通訊    ODVA標準    SEC-N104系列

CC-Link® 通訊

模擬通訊

?0~5VDC 0~10VDC

?4~20mA

24VDC（13 ~ 32VDC）    SEC-N105系列

場總線通訊

模擬通訊

?0~5VDC 0~10VDC

?4~20mA

現(xiàn)場總線標準

24VDC(13~32VDC)

SEC-N106系列

EtherCAT®通信    

EtherCAT標準

24VDC+/-4V

SEC-N107系列

可滾動的

寬廣的流量控制范圍，從 10 SCCM 到 1000 SLM 

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能，實現(xiàn)設(shè)定點精度

全流量范圍快速響應(yīng)：1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能，

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。